Infineon: Noch lange kein Ende der Fahnenstange

Die vielzitierten physikalischen Grenzen der Chipherstellung werden nach Forschungsergebnissen von Infineon so bald noch nicht erreicht. Mindestens noch zehn bis dreizehn Jahre könne man die Baueelemente auf integrierten Schaltungen weiter so schrumpfen wie bisher – laut Infineon funktioniert die aktuelle "Verdrahtungstechnik" (Damaszene-Verfahren) auch noch mit nur 40 bis 50 nm schmalen Leitungen. Mit heutiger Belichtungstechnik lassen sich solch feine Strukturen allerdings noch nicht herstellen. Infineon benutzte statt dessen das so genannte Spacer-Verfahren und konnte anhand der erzeugten Chips nachweisen, dass die elektrischen Eigenschaften (Widerstand, Isolation) der winzigen Leitungen auch in diesem Nanokosmos noch im grünen Bereich lagen. (as)